簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Chao-Chang Chen".eadvisor (精準) and ckeyword.raw="軟拋墊"


  • 在搜尋的結果範圍內查詢: 搜尋 展開檢索結果的年代分布圖

  • 個人化服務

    我的檢索策略

  • 排序:

      
  • 已勾選0筆資料


      本頁全選

    1

    拋光墊表面微突起接觸面積對銅薄膜晶圓化學機械拋光之影響研究
    • 機械工程系 /110/ 碩士
    • 研究生: 林峻宇 指導教授: 陳炤彰
    • 本研究目的為下壓力對於軟拋墊表面微突起接觸面積的影響與材料移除率預測模型應用於銅薄膜化學機械拋光製程。實際方法使用X-ray電腦斷層掃描儀進行軟拋墊的微觀形貌掃描,再透過三維分析軟體組建軟拋墊的微觀…
    • 點閱:211下載:0
    • 全文公開日期 2024/09/19 (校內網路)
    • 全文公開日期 2027/09/19 (校外網路)
    • 全文公開日期 2027/09/19 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

    2

    銅膜化學機械拋光之軟拋墊磨耗率與性能分析研究
    • 機械工程系 /109/ 碩士
    • 研究生: 廖秉鋐 指導教授: 陳炤彰
    • 本研究 之目的 為 研發線上量測軟拋墊之 磨耗率 (Pad Wearing Rate, PWR)與 性能指標應用於化學機械拋光之製程 透過 先前 開 發之動態量測 拋光墊性能指標系統 以 自行研發 …
    • 點閱:207下載:0
    • 全文公開日期 2024/08/26 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/08/26 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/08/26 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
    1